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低温等离子表面处理机射频功率过大为什么呢?

发布日期:2021-10-25

等离子表面处理机是利用等离子活性组分的性质处理样品表面的等离子设备。随着国民经济的快速发展,等离子表面处理机行业也取得了较大发展。

  等离子表面处理对材料表面的刻蚀作用:

  在物理作用下等离子体中的大量离子、激发态分子及自由基等多种活性粒子,会作用到固体样品表面,能清除表面原有的污染物和杂质。此过程也会产生刻蚀作用,能够将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品表面的粗糙比例,从而提高固体表面的粘合性及亲水性能。

  射频功率过大的影响:

  1、易因去除作用过大,对工件表面造成损伤,而未达到清洗目的;

  2、对等离子表面处理机本身造成损害,过大输出功率的应用,会导致机器寿命缩短甚至损坏;

  为何功率过大会报警,这是有诸多可能性的:

  就机器本身而言,有可能是调节机制失灵。自激造成负反馈失效,或者机件损坏导致一直工作在启动正反馈状态。传感器失灵或者高频辐射端与工件位置不当,也是可能原因。

  等离子表面处理机故障和排除,最好联系生产厂家配合解决哦。

  等离子表面处理机,喷出的是低温等离子,形状像火焰。采用数控技术系统,自动化程度高;具有高精度的控制装置,时间控制的精度很高;正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证。

  标签:等离子表面处理机原理

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